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American Vacuum Society monograph series
1982
Signatur: ZKP1032





Moderne Lackiertechnik
1996
Signatur: ZPF1951



Dry etching for VLSI
Updates in applied physics and electrical technology
1991
Signatur: YGY2018


1996
Signatur: D11176



Ätzverfahren für die Mikrotechnik
1998
Signatur: YFB3243